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富配平台 盛美上海：公司已推出多款适配HBM工艺的设备
证券日报网讯12月8日，盛美上海在互动平台回答投资者提问时表示，目前，盛美上海已推出多款适配HBM工艺的设备。其中，公司的UltraECP3d设备可用于TSV铜....
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